클린룸 정비 작업 시 화학물질 유해ㆍ위험 요인

많은 클린룸 공정 지원 설비 중 일부로, 클린룸 밖과 안에서 화학물질 저장, 이송, 분배 등의 시설(탱크, 배관 등)에서 발생할 수 있는 정비 작업 시 화학물질 유해ㆍ위험 요인을 공유하고자 한다.

 

 

 

 

클린룸 정비 작업 시 화학물질 유해ㆍ위험 요인

화학물질 공급하는 배관 등 시스템 설비

반도체 클린룸 외부 또는 내부에서 덕트, 배관을 통해 화학물질을 공급하는 설비를 정비할 때 몇 가지 특정 안전보건 위험이 수반된다. 이러한 위험은 배관 네트워크를 통한 화학물질의 운송과 취급을 포함하는 시스템의 복잡한 특성으로 인해 발생한다. 주요 잠재적 위험 요인은 다음과 같다.

 

 

 화학물질 노출 위험

클린룸 공장 밖에서 화학물질 저장 탱크 이송, 충전, 화학물질 저장 탱크 정비, 화학물질 이송 또는 클린룸 밖과 안에서 덕트 수리, 교체, 연결, 분리 등의 직무 과정에서 유해화학 물질과 직접 접촉할 수 있다. 덕트 파손 등으로 인해 각종 독성물질과 가스 등이 외부로 누출되어 작업자 노출은 물론 환경오염을 초래할 수 있다.

 화재와 폭발 위험

화학물질 누출 또는 부적절한 환기는 화재나 폭발로 이어질 수 있다. 유지보수 중 정전기 방전으로 인화성 화학물질이나 증기에 불이 붙어 폭발로 이어질 수 있다.

 

 

 밀폐공간 위험

클린룸 공장 밖과 안에서 화학물질 배관 덕트, 화학물질 저장 탱크 등 설비 정비와 유지보수는 밀폐공간에서 작업해야 하는 경우가 많다. 이러한 공간은 접근이 제한되어 있어 중독은 물론 갇힐 위험이 있거나 비상시 탈출 경로가 제한될 수 있다. 밀폐공간에서 정비 작업 전 산소와 유해가스 측정, 정비 작업 중 지속적인 환기와 공간 밖 작업자 배치 등의 조치를 취한다.

 

산소와 유해가스 측정	보호구 착용, 지속적인 환기와 공간 밖 작업자 배치

<그림 1> 화학물질 저장 탱크 설비 등 밀폐공간 정비 작업 전과 작업 중 안전조치 사례

 

 물리적 위험

화학물질 덕트 시스템은 압력을 받고 작동할 수 있다. 화학물질 이송 배관 등의 유지보수 중 부적절하게 취급하거나 실수로 구멍을 뚫으면 압력으로 인해 화학물질이 갑자기 방출되어 신체적 부상을 입을 수 있다. 또한 덕트를 수리하거나 교체하기 위해 무거운 도구와 장비를 사용하면 긴장 또는 압착 사고와 같은 부상을 입을 수 있다.

 

 

 인체공학적 위험

클린룸 공장 밖과 안에서 화학물질 덕트, 탱크 등의 설비 정비 작업은 일정한 높이, 제한된 공간에서 불편한 자세로 작업해야 하는 일이 많아 인체공학적 부상의 위험이 증가할 수 있다.

 화학물질 환경 위험

클린룸 공장 밖에서 탱크로리로 화학물질 충전, 화학물질 저장 탱크 유지보수 중 누출 또는 유출은 환경오염으로 이어져 토양과 수질에 영향을 미칠 수 있다. 폐기물을 적절히 처리하지 않거나 화학물질 잔여물을 제거하지 않으면 환경 피해가 발생할 수 있다.

 전기 위험

클린룸 공장 밖과 안에서 화학물질 이송 펌프와 모니터링 장치와 같이 화학 덕트 시스템과 관련된 전기 부품을 사용하거나 그 근처에서 작업할 때 이러한 부품의 전원이 제대로 차단되지 않은 경우 감전 등의 위험이 발생할 수 있다.

 

 

가스 캐비닛 설비

클린룸 안에서 일정 용량의 가스 실린더 여러 개가 체결된 가스 캐비닛(gas cabinet)을 운용할 때 안전보건 위험이 있다.

가스 실린더 교체, 캐비닛 정비 작업자는 작업 중 방독마스크 수준 이상의 호흡보호구를 착용하고 안전작업절차에 따라 가스 실린더를 교체한다. 또한 가스검지기에 의한 인터록, 자동 공급 차단, 국소 배기 장치 설치 등의 조치가 필요하다.

 

 

 화학물질 노출 위험

가스 실린더를 교체할 때 남아 있던 가스에 노출될 수 있다.

 화재 및 폭발 위험

가스 실린더에서 누출된 가스로 인해서 폭발 또는 화재가 발생할 수 있다. 예를 들어 실란 (silane)은 자연 폭발성이 있다. 가스검지기에 의한 모니터링, 일정 수준별 인터록에 의한 공급 차단 등이 필요하다.

 물리적 위험

확률은 매우 낮지만 가스 실린더의 전도, 절단 등으로 인한 누출 가능성도 있다. 이때 신체적 부상을 입을 수 있다.

 인체공학적 위험

가스 실린더 교체, 설치 등으로 제한된 공간에서 불편한 자세로 작업해야 하는 일이 많아 인체공학적 부상의 위험이 있다.

 

Reference : KOSHA 전자산업 클린룸 공정 지원 설비 정비 작업 안전보건 가이드