클린룸 정비 작업 안전보건 조치 사항

전자산업 클린룸(clean room)에서 제품을 제조하는 공정을 지원하는 각종 기계, 설비 및 화학물질과 관련하여 정비 작업 안전보건 조치 사항에 대해 공유하고자 한다.

 

 

 

클린룸 정비 작업 안전보건 조치 사항

클린룸 공정 지원 설비 정비 작업을 안전하게 마치려면 정비 작업 유해·위험 요인을 파악하고 정비 작업 전, 중, 후의 주요 작업 절차를 따라야 한다.

 

 

클린룸 정비 작업 유해·위험 요인

클린룸 공정을 지원하는 각종 기계, 설비들을 정비하는 작업자들은 입자상 물질, 가스상 물질, 열, 전기, 에너지 등에 노출 될 수 있고, 또한 화학물질로 인한 누출, 폭발, 화재, 질식, X선 노출로 인한 건강 영향 등 잠재적 사고 위험도 있다.

 

클린룸 공정 지원 설비 정비 작업에서 발생할 수 있는 공통적인 잠재적 안전사고 와 유해·위험 요인은 다음과 같다. 

- 파열 위험: 정비 대상 설비를 열기 전후에 내부 압력을 올바르게 바깥과 맞추지 않으면 파열과 같은 위험을 초래할 수 있다.
- 신체적 위험: 정비 대상 설비 뚜껑을 열고 장비나 부품 등을 교체하는 과정에서 사용하는 기기로 인한 중대재해 가능성이 있다. 특히 크레인을 이용할 때 위험 이 더 크다. 

- 밀폐공간 위험: 정비 대상 설비가 밀폐공간 또는 반밀폐공간일 경우 산소부족이나 유해 물질 중독이 일어날 수 있다. 클린룸 공정 지원 설비 규모, 작업 특성 등에 따라 밀폐 정도는 다르지만, 기본적으로 제한된 환경에서 중독, 산소부족, 화재·폭발 등의 잠재적 위험이 있다. 예를 들면, 화학물질 저장 탱크, 화학물질 운반 덕트, 스크러버 등 작업자가 안으로 들어가 정비를 해야 하는 공간은 밀폐공간에 해당할 수 있다. 
- 고온 위험: 고온 시설에서 작업할 때 설비를 충분히 식히지 않으면 화상을 입을 수 있다. 
- 미세먼지 노출 위험: 설비를 열고 부품 분해, 청소, 정비 등을 수행할 때 클린룸 공정 지원에 사용된 각종 화학물질이 포함된 미세먼지에 노출될 수 있다. 미세먼지 성분은 클린룸 공정 기술, 지원 설비 등에 따라 달라진다. 
- 화학물질 노출 위험: 정비 대상 시설 안과 밖에서 부품을 세정할 때 사용하는 화학물질(IPA 등)에 노출될 수 있다. 
- X선 노출 위험: 전자제품의 품질(quality)을 검사하는 XRF에 LOTO, 인터록 등 적정한 안전조치를 취하지 않을 경우 X선에 노출될 수 있다. 
- 인체공학적 위험: 정비 대상 설비 뚜껑, 커버 등 무거운 부품이나 장비를 손으로 들어 올리거나 옮기는 작업, 설비 안이나 주변에서 설비 표면을 사포나 걸레 등의 도구로 세정하고 정비하는 작업 등에서 반복적인 동작을 하고 불편한 자세로 작업하는 경우 근골격계질환이나 부상이 생길 수 있다.
- 중독 위험: 설비 결함이나 소통 오류 등으로 정비 작업 중 유해화학물질이 유입되어 중독이나 질식 위험이 있다. 
- 감전 위험: 설비의 전원 차단을 위한 케이블 분리 시 감전 위험이 있다. (카) 넘어짐, 추락 위험: 설비 등 구조물에 걸려 넘어질 위험이 있고, 설비 상부 이동이나 진입을 위한 사다리 사용 중 추락(떨어짐) 위험이 있다. 또한, 일정 높이의 발판 위에서 작업할 경우 뒤로 넘어질 가능성도 있다.

 

 

정비 작업 전 안전보건 조치 사항

- 회사의 규정에 따라 클린룸 공정 지원 설비 정비 안전 작업 허가를 받는다.
- 정비 작업 관련 공정 설비 부서와 협의하여 공정 설비의 스위치나 배관 밸브 등을 차단한 후 잠그고(Lock out), 표시한(Tag out) 꼬리표(LOTO)를 달아 놓는다. 작업자가 LOTO 등 인터록(interlock)을 해제하지 못하도록 조치한다. 
- 공정 설비 정비 작업공간을 주변과 격리하고, 정비 경계 구역을 표시하며, 출입을 제한한다. 크레인 등 위험한 기계나 기구를 사용할 경우, 운전자와 신호수를 지정하고 적절한 위치에 배치한다.
- 공정 설비 정비 작업 시 발생할 수 있는 유해·위험 요인(Hazard)을 확인하고 통제할 수 있는 안전보건 조치를 취한다.
- 정비 작업과 비상시 필요한 안전보건 시설(세척·세안 설비, 배기 장치)과 개인보호장비의 성능을 점검한다.
- 공정 설비 정비 작업을 위한 기계, 도구 등을 준비하고 성능이 최적인지 확인한다.
- 정비를 안전하게 수행하기 위한 내용을 훈련받고, 사고 발생 시 취해야 할 비상조치 사항을 확인하고 이해한다. 정비팀원 간 안전한 작업 요령 등도 확인한다. 
- 정비 작업에 필요한 개인보호장비를 착용한다. 호흡보호구는 방독 또는 고성능필터(HEPA) 마스크를 착용한다. 밀폐공간 또는 화학물질 농도가 높은 장소에서 송기 마스크를 사용할 경우 공기질(Air Quality)이 “D”(대기 산소와 같은 수준)를 유지하도록 한다. 정비 대상 설비를 열 때 열로부터 눈을 보호하기 위해 보안경을 착용한다. 
- 정비 대상 설비를 열기 전에 충분히 세정하고 퍼지(purge)하여 산소 농도, 온도, 압력, 기타 유해가스 농도 등이 정비가 가능한 상태가 되었는지 확인하고 기다린다.

 

 

정비 작업 중 안전보건 조치 사항

- 정비 작업자는 LOTO 등 인터록 장치가 모두 잠금상태인지 확인한다.
- 정비 대상 설비를 열고 뚜껑(Shield), 커버 등을 해체하고 부착할 때 안전조치를 취한다. 또한 크레인, 호이스트, 리프트 등 위험한 기계나 기구를 이용할 경우 적정한 기계 상태와 성능 점검, 운전자와 신호수 지정, 안전 구역 표시 등 철저한 안전조치를 취한다.   
- 설비에서 기계, 장비, 소재 등에 대해 교체, 부착, 세정, 센서 보정 등 정비와 세정 작업을 안전하게 수행한다. 
- 낮은 높이의 발판, 사다리 등에서 정비 작업을 할 때 넘어짐, 추락 등에 주의한다.
- 설비, 기계 등에서 먼지를 제거할 때 스크러버(Scrubber)로 연결된 이동식 진공 배기 장치(덕트, 튜브 등)를 사용하여 먼지 확산과 노출을 최소화한다. 에어건 사용은 제한하되, 사용해야 한다면 배기 장치와 병행하여 최소한으로 사용한다.

 

 

정비 작업 후 안전보건 조치 사항

- 클린룸 공정 지원 설비 정비 작업을 마친 후 보호구를 착용한 채 정비 작업공간을 깨끗하게 청소한다. 정비 작업 후 생긴 폐기물은 특성에 따라 적절히 분류하고 보관한 후 신속하게 처리한다. 
- 관계 부서 및 관계자와 함께 클린룸 공정 지원 설비 정비 작업을 마치고 안전 점검을 마친 후 클린룸 공정 지원 설비를 다시 가동하여 공정이 원활하게 작동되는지 관련 변수를 점검한다. 최적의 상태인지 확인하고, 정비 작업을 마친다.
- 클린룸 공정 지원 설비 정비 이력 카드에 수행한 정비 작업 종류, 정비 날짜, 정비 작업자, 교체한 부분, 발생한 문제 등의 주요 정비 내역을 기록하고 보존한다.

 

Reference : KOSHA 전자산업 클린룸 공정 지원 설비 정비 작업 안전보건 가이드