무수불산(HF)

불산(HF)은 수소와 불소가 합쳐진 불화수소(HF)를 물에 녹인 액체를 말하는 것으로, 무색의 자극적 냄새가 나는 휘발성 액체이다. 반응성이 높은 성질 때문에 촉매제나 탈수제로도 이용되며, 반도체 실리콘 웨이퍼의 불필요한 부분을 녹이는 데 탁월하여 반도체 산업의 필수 화학물질이다.

 

 

 

무수불산 (Hydrofluoric acid, HF)

불화수소의 공식명칭은 플루오르화수소(Hydrogen fluoride)이며, 다른 말로 에칭가스(Etching gas)이다. 또한 불화수소가 1% 이상 포함된 수용액(Aqueous solution)을 우리가 통상 관용명으로 부르는 불화수소산(Hydrofluoric acid)이고, 불산이라고도 한다.

불화수소(플루오르화수소 또는 에칭가스)와 불화수소산(불산)의 차이점은 기체와 액체이다.

불화수소는 공기에 누출되면 공기와 바로 혼합되어 확산되며, 불산의 경우 누출되면 바닥에 Pond가 형성이 되어 대기조건이 비점(19.5℃) 보다 높으면 증발되어 확산된다.

 

이온화가 잘 되지 않아 약산으로 분류되지만, 강한 수소 결합력으로 공기 중의 수분과 반응을 일으킬 경우 큰 폭발을 일으킬 수 있다. 불산이나 고농도의 불산 증기가 피부에 닿으면 하얗게 탈색되며 물집이 잡히고, 눈에 닿으면 각막이 파괴되거나 혼탁해진다.

 

 

 

일반정보

●  CAS_No.: 7664-39-3

● NFPA 지수

- 보건 : 4(매우 짧은 신체적 노출로도 사망 혹은 심각한 부상을 야기할 수 있음)

- 화재 : 0(타지 않음)

- 반응 : 1(일반적으로 안정적이나, 기온/기압 상승 시 불안정해질 수 있는 물질)

* 다른 일부 문헌에서는 4,0,0으로 표시되는 경우도 있다.

● 색상 : 무색

● 비점 : 19.5℃(1.013 hPa)

● 증기밀도(Vapor density ) : 1.002g/L (0℃),  2.21 (20 °C ) 

● 독성 관련자료 :

- 흡입 : 가스, Rat  LC50  = 1300ppm/30 min (변환 : 459.62ppm/4hr)

 

 

 

GHS Label

●  그림문자

●   신호어

- Danger

●  유해위험문구

- 금속을 부식시킬 수 있으며 알레르기성 피부 반응을 일으킬 수 있음

- 피부에 심한 화상과 눈에 손상을 일으킴

● 예방조치문구

- 보호장갑, 보호의, 보안경, 안면보호구를 착용하시오.

- 흄, 증기, 스프레이를 흡입하지 마시오.

 

 

 

피해야 할 조건 및 물질

●  피해야 할 조건 : 열

●  피해야 할 물질 : 물 

 

법적 규제 현황

●   노출기준 : TWA: 0.5 ppm,  C: 3 ppm 

●   특수건강진단주기 : 12개월

●   작업환경측정주기 : 6개월

●   산업안전 보건법 : PSM 대상물질, 노출기준설정물질, 작업환경측정물질, 관리대상물질, 특수건강진단물질

                                  * 부식성 물질(농도 60% 이상), 급성 독성물질

●   화학물질관리법 : 사고대비물질, 유독물질

●   위험물안전관리법 : 해당 없음

 

 

취급 시 주의사항

 

 

관련 법규 및 안전보건기준

<산업안전보건법>

● 제37조(안전보건표지의 설치ㆍ부착) 취급장소 및 설비에 금지, 경고, 지시, 안내 표지 부착

● 제39조(보건조치) 가스ㆍ증기ㆍ흄에 의한 건강장해 조치

● 제59조(도급의 승인) 급성 독성, 피부 부식성 등이 있는 물질의 취급

● 제29조(근로자에 대한 안전보건교육) 물질취급 특별위험작업 안전보건 및 MSDS 내용

● 제114조(물질안전보건자료의 게시 및 교육)  MSDS 확보, 교육, 물질경고표시 등

● 제125조(작업환경측정) 대상물질 취급 시 작업환경측정

● 제130조(특수건강진단 등) 대상물질 취급자는 특수건강진단 실시

● 제44조(공정안전보고서의 작성ㆍ제출) 대상물질 규정량 이상 취급시 공정안전보고서 제출

 

 

<산업안전보건기준에 관한 규칙>

●제225조(위험물질 등의 제조 등의 작업 시의 조치) 위험물질을 누출시키는 등으로 인체에 접촉시키는 행위금지

●제256조(부식방지) 화학설비 또는 그 배관 중 위험물질이 접촉하는 부분에 대해서 부식되어 누출되는 것을 방지하기 위하여 부식이 잘되지 않은 재료를 사용하거나 도장 등의 조치

●제257조(덮개 등의 접합부) 화학설비 또는 그 배관의 덮개, 플랜지, 밸브 및 콕의 접합부에 대해서는 접합부에서 위험 물질이 누출되는 것을 방지하기 위하여 적절한 개스킷(gasket)을 사용하고 접합면을 서로 밀착시키는 등 적절한 조치

●제259조(밸브 등의 재질) 화학설비 또는 그 배관의 밸브나 콕에는 개폐의 빈도, 온도, 농도 등에 따라 내구성이 있는 재료를 사용

●제297조(부식성 액체의 압송설비) 위험물질을 동력을 사용하여 호스로 압송하는 작업을 하는 경우

① 보기 쉬운 위치에 압력계를 설치하고 쉽게 조작할 수 있는 위치에 동력을 차단할 수 있는 조치,

② 호스와 그 접속용구는 압송하는 산에 대하여 내식성, 내열성 및 내한성을 가진 것을 사용,

③ 호스에 사용정격압력을 표시하고 그 사용정격압력을 초과하여 압송 금지,

④ 호스 내부에 이상압력이 가하여져 위험할 경우에는 압송에 사용하는 설비에 과압방지장치를 설치,

⑤ 호스와 호스 외의 관 및 호스 간의 접속 부분에는 접속용구를 사용하여 누출이 없도록 확실히 접속

● 제299조(독성이 있는 물질의 누출방지) 월 1회 이상 누출점검, 가스감지 및 경보설비 설치

●제431조(작업장의 바닥) 관리대상 위험물질을 취급하는 실내작업장의 바닥에 불침투성의 재료를 사용하고 청소하기 쉬운 구조로 함

●제434조(경보설비 등) 관리대상 위험물질이 샐 우려가 있는 경우에는 경보설비를 설치하거나 경보용 기구 비치, 관리대상 위험물질이 새는 경우에 대비하여 제거용 약제, 기구 또는 설비 비치

 

 

Reference : KOSHA 유해·위험물질 안전보건정보