진공 시스템 구성품
진공 시스템에는 챔버, 펌프, 측정 계기, 구성품, 밸브, 피드 스루, 조작기 등으로 구성되어 있다. 진공 기술에서 사용되는 재료, 다양한 유형의 연결, 기계적 구성품에 대해 공유하고자 한다. 본 내용은 PFEIFFER 기술자료를 참고하여 작성되었다. 진공 시스템 구성품 실(seal)이 장착된 분리형 연결과 비분리형 연결은 구분되어 있다. 진공 재료 ● 진공 재료 요구조건 - 전체 작업 온도 범위에 걸친 충분한 기계적 강도: - 높은 기체 기밀: - 낮은 내재 증기압, 높은 용융점과 비등점: - 깨끗한 표면, 외부 기체의 낮은 함량, 쉬운 기체 제거: - 양호한 열 충격 저항, 조정된 확장 행동: - 부식 저항, 화학적 저항: 특별한 용도 분야에 대해 재료에 대한 추가 요구를 할 수도 있다. ● 진공재료..
2022. 1. 2.
