반응형 진공 배기 시스템의 부식 문제1 진공 화학물질 위험성(Chemical hazard) 진공 위험 요소는 진공 위험성(Vacuum hazard), 과압 위험성(Over-pressure hazard), 전기 충격 위험성(Electrical shock hazard), 냉각수/냉각제 위험성(Cooling water/coolant hazard), 화학물질 위험성(Chemical hazard), 공정이 진공 펌프에 미치는 영향 및 그 위험성 그리고 기계적 위험성(Mechanical hazard)이 있다. 진공 시스템에서의 화학물질 위험성(Chemical hazard)에 대해 세부적으로 공유하고자 한다. 본 내용은 Vacuum Magazine에 주장헌 박사가 기고한 내용이다. 진공 화학물질 위험성(Chemical hazard) 부식성물질 위험성 공정을 위해 부식성 물질(예를 들면 F, Cl, Br을 .. 2023. 9. 26. 이전 1 다음 728x90 반응형
