반응형 배기구 후단 막힘 발생1 진공 과압 위험성 진공 위험 요소는 진공 위험성(Vacuum hazard), 과압 위험성(Over-pressure hazard), 전기 충격 위험성(Electrical shock hazard), 냉각수/냉각제 위험성(Cooling water/coolant hazard), 화학물질 위험성(Chemical hazard), 공정이 진공 펌프에 미치는 영향 및 그 위험성 그리고 기계적 위험성(Mechanical hazard)이 있다. 진공 장비에서의 과압 위험성(Over-pressure hazard)에 대해 세부적으로 공유하고자 한다. 진공 과압 위험성(over-pressure hazard) 과압을 유발하는 경우 진공 chamber를 포함한 전체 진공 시스템에서 물리적인 과압 상태를 유발할 수 있는 경우는 (1) 시스템 내부로 .. 2023. 9. 26. 이전 1 다음 728x90 반응형
